301
ekaia
ZIENTZIA e a TEKNOLOGIA
ALDIZKARIA
ISSN 0214-9001 – eISSN 2444-3255
Ekaia, 2022, 42, 301-316
h ps://doi.o g/10.1387/ekaia.22926
* Ha emane an ja zeko / Co esponding au ho : Oihane Mu ua. Ingenia i za Mekanikoko Saila, Plaza To es Que edo, 1
(48013 Bilbao. Bizkaia, Euskal He ia). – [email p o ec ed] – h ps://o cid.o g/0000-0002-2058-3042
Nola aipa u / How o ci e: Mu ua, Oihane; A izubie a, Jon Iñaki; Os olaza, Ma a; Lamikiz, Ai zol; Uka , Eneko (2022). «Lase -
es u izazio p ozesu ako e edu ma ema ikoa». Ekaia, 42, 2022, 301-316. (h ps://doi.o g/10.1387/ekaia.22926).
Jaso ze-da a: 2021, ekainak 21; Ona ze-da a: 2021, u iak 21.
ISSN 0214-9001 - eISSN 2444-3255 / © 2022 UPV/EHU
Lan hau C ea i e Commons Ai o u-EzKome ziala-LanE a o i ikGabe 4.0 Nazioa ekoa
lizen zia ba en mende dago
Lase - es u izazio p ozesu ako e edu ma ema ikoa
(A ma hema ical model o he lase ex u ing p ocess)
Oihane Mu ua*, Jon Iñaki A izubie a, Ma a Os olaza, Ai zol Lamikiz, Eneko Uka
Mekanika Saila, Bilboko Ingenia i za Eskola (UPV/EHU)
LABURPEnA: P oiek u hone an lase - es u izazio p ozesua en zenbakizko e edua ga a u da. Ho e a ako,
lehendabizi lase - es u izazio p ozesua en in o mazioa bildu da, ondo engo p og amazioan e eali a ea en
hu bilpen egokia simula u ahal iza eko. Au ez aipa u ako ab ikazio-p ozesu honen jakin za esku a u os ean,
ekin za be be a i udika zen duen e edu ma ema ikoa so zeko beha izana ikusi da. Ho ela, lana en me odo-
logia hi u pauso an an ola u da: lehenik, lase - es u izazio p ozesu ba en e edu hu bildu ba so u da; ondo-
en, p ozesu e eala en saiakun za espe imen alak egin di a; e a azkenik, lo u ako emai zen a eko alde ake-
a en bi a ez e edua balioz a u da. E edua en ga apena Ma lab-eko PDE moduluaz balia uz egin da e a pieza
ba eko gainazaleko pun u zeha zen lu un zea simula zeko gai asuna dauka. Simula u ako e eduan so zen di-
en k a e ak, nanosegundoko pul suak igo zen di uen lase ba en bi a ez e ep oduzi zeko saiakun zak egi-
en di a. Lase - es u izazioa simula zen duen e edua egiaz a u ahal iza eko, simulazioe a ik lo u ako emai-
zak saiakun za espe imen ale an lo u akoekin alde a u di a e a emai zen a ean ko elazio oso ona lo u da:
k a e en diame oan e a sakone an 5 e a 0,5 mik e ako e o eak lo uz, hu enez hu en. Ho ela, ga a u den
e edu ma ema ikoa e a ja ai u ako p ozedu a balioz a u a geldi u di a.
HITZ GAkoAk: lase - es u izazioa, e edu ma ema ikoa, Ma lab, S elli e 6, k a e a.
Abs Ac : The aim o his p ojec is he de elopmen o a ma hema ical model, which ep esen s he la-
se ex u ing p ocess. To ha end, i s ly, in o ma ion on he undamen als o he lase ex u ing p ocess is
ga he ed. A e he analysis o he s a e-o - he-a o lase ex u ing p ocesses, he de elopmen o a ma he-
ma ical model ep esen ing he phenomena ha akes place in he lase ex u ing p ocess is ca ied ou .
The e o e, he me hodology ollowed o such ask consis s on 3 s eps: c ea ing an app oxima e model, pe -
o ming expe imen al es ing o he p ocess, and conduc ing he alida ion o he model based on he expe i-
men al esul s ob ained. The de elopmen o he model is based on he PDE module o Ma lab and aims o
simula e he apo iza ion phenomenon in localized a eas o he su ace. The c a e s c ea ed by he model
a e la e ep oduced in expe imen al es s, by employing a lase , which emi s nanosecond pulses. Fo he
pu pose o alida ing he lase ex u ing model, he esul s ob ained in he simula ions and he expe imen al
da a a e compa ed and a good co ela ion is ob ained: e o s below 5 and 0.5 mic ons ega ding he diame-
e and he dep h o he c a e , espec i ely. Consequen ly, he ma hema ical model and he ollowed p oce-
du e a e alida ed.
KEyWORDS: lase ex u ing, ma hema ical model, Ma lab, S elli e 6, c a e .
302 Ekaia, 2022, 42, 301-316
Oihane Mu ua, Jon Iñaki A izubie a, Ma a Os olaza,
Ai zol Lamikiz, Eneko Uka
1. SARRERA
Lase bidezko es u izazio-p ozesua, ingelese ik da o en Lase Su ace
Tex u ing (LST), pa oi zeha z ba so zeko asmoz gainazaleko ma e iala
egi u a zean oina i zen da. Fab ikazio-p ozesu honen eginkizuna au pegi
ba en es u a edo gainazal-egi u ake a zeha za lo zea da, o o ha , pul su-
kako lase ba ez balia uz. Lase - es u izazio p ozesu ako e edu ma ema i-
koa Ma lab so wa e kome ziala e abiliz ga a u, e a ja aian, e edu ho i es-
pe imen alki balioz a u da.
Indus ia mailan lase - es u izazioa en lehen pausoak 90eko hama ka-
da en e di ik au e a age u zi en. E a o duz ge oz ik, Is aelgo Technion
Ins i u u Teknologikoa en [1] ai zinda i zapean e engabeko ga apenean da-
goen ab ikazio-p ozesua da. Gau egun a e egindako ike ke en a ean, la-
se mo a desbe dinekin egindako es u ak az e zea, es u izazio-p ozesu
espe imen ala en az e ke a, egi u a u ako gainazalen po ae a modeliza zea
e a lase - es u izazio p ozesua be a modeliza zea au ki zen di a [2]. Ala-
baina, lase - es u izazioa en eknologiak o aindik ez du lo u heldu asun
nahikoa e a be e e abile a o aindik ez dago oso zabaldua indus ia mailako
zenbai sek o e an di uen kos u al u e a p oduk ibi a e baxua enga ik.
o oko ean, LST p ozesua en e edua en diseinu op imoa so zeak eba-
luazio-denbo a e a konpu azio-kos u al ua dauka e [3]. Bes alde, e eduen
ga apene ako kos u al uak inbe sio ba di a, e a edozein p oba espe imen-
alen au e iko pauso ga an zi suene ako ba bihu u di a.
Fab ikazio-p ozesuen modelizazioak daka zan onu ei dagokienez, p o-
zesuko pa ame o egokiak lo zeko his o ikoki ja ai zen den p oba-hu-
segi e me odoa en i e azio kopu ua a in zea naba men zen da. Lase - es-
u izazio p ozesua en modelizazioa en ingu uko ike kun zen ha i a, bi
ike le o nagusi be eiz dai ezke: alde ba e ik, es u a jakin ba en po ae a-
en az e ke a helbu u du enak; e a bes e ik, lase -egi u ake a p ozesua be a
simula zen du enak.
kasu hone an lase - es u izazio p ozesua modeliza u denez, ja aian
azaldu ako ike ke ak di a au eka i ga an zi suenak. Has eko, lase -egi u-
ake a p ozesua en lehen simulazio-ike ke a 2008an a gi a a u zen Nume-
ical Simula ion o Lase Su ace Mic o-Tex u ing izenpean [4]. Ike ke a
ho en ga apenean, ANSYS so wa ea e abili zen e a elemen u ini uen
(FEM) bidez New on-Rapson me odoa aplika u zu en es u a en k a e e a
enpe a u a e emua en analisia egi eko. U eak au e a joan ahala, ge o e a
a giago ikus en da ike ke a ho i egin dakizkioken hobekun zak. Esa e ako,
lase a en pul suak gainazalean inda ba izango bali a bezala sa zen zi uz-
en, e a ho az, ezin dai eke au eikusi lase ba en pul suek gainazalean sa -
zen du en be oa, e a inda ek gainazalean so zen du en e agina bes e ik
ezin da az e u. Gaine a, plasmaga iko zuzenke a e abil zen zu en k a e a-
h ps://doi.o g/10.1387/ekaia.22926 303
Lase - es u izazio p ozesu ako e edu ma ema ikoa
en sakone a lo zeko, ho s, enpe a u a ba e ik au e a lase a en e agina
nulu za ha zen zu en. Bes e alde ba e ik, lase a en in en si a e e a pul su
kopu u desbe dinen za simulazio ani z egin zi uz en (1. i udia). Hala e e,
lo zen zi uz en k a e sakone ak ez zi en espe imen alki konp oba u, be-
az, ez dago jaki e ik simulazioe an e abili ako hu bilpenak egokiak zi en.
(a) (b) (c) (d)
1. i udia. Nume ical Simula ion o Lase Su ace Mic o-Tex u ing ike ke ako
emai zak, lo u ako k a e a pul su kan i a e desbe dinekin [4, 3]: (a) pul su ba ;
(b) 3 pul su; (c) 5 pul su; (d) 20 pul su.
2018an Jieyu Xian ike zaileak e a be e aldeak lase - es u izazio p o-
zesuan be an lo zen di en emai zen hu bilpenak egi eko e edua ga a u zu-
en [5]. Ike kun za ho e an egi u ake a-p ozesuan deusez a uko den ma e-
iala en sakone a e a azale a i aga zeko e edua so u zu en. o oko ean,
lan ho en bi a ez, ge uza ani zeko neu ona-sa e ba en ena u e a i aga -
pen algo i mo ba so u zu en. Aipaga ia da lo u ako emai za simula uak
e a espe imen alak nahiko onak zi ela, baina e edu ho en izae a guz iz
bes elakoa da. Izan e e, azken inean neu ona-sa ea en ena zeko p ozesua
oso luzea iza en da, saiakun za espe imen al asko ekin, e a hau e agozpena
da azka asuna bila zen denean.
Azken u ee an lase -egi u ake a p ozesua en zenbai e edu ga a u di a,
e a ho ie a ik ja aian azalduko di en biak CoMSoL Mul iphysics so -
wa e kome zialaz balia uz egin di a. Ike ke a haue ako lehenengoan [6],
es u a en so e a simula zen da, baina au kez u iko lanak hainba gabezia
e akus en di u. Adibidez, ike ke a ho e an e edua balioz a zeko lase a en
pa ame o jakin ba zuk e abil zen di a baka ik. Gaine a, hasie ako gaina-
zala en ezauga iei ez zaie ga an zi ik ema en, e a ho ek ze ikusia dauka
mik ome o eskalan lan egi en denean. Ho ez gain, ondo ioe an aipa zen
da ablazio-e edua be a baka ik ez zela gai k a e a en i xu a hu bildua lo -
zeko (2. i udia). Ho i dela e a, ma e ial i sa sia en po ae a egoki hu bil-
zeko ja iakin e edu ba gehi u beha zela ondo ioz a u zu en. CoMSoL
Mul iphysics so wa e ekin ga a u ako biga en ike ke an, em osegundo
mailako pul su bidezko lase - es u izazio e edua ga a zen da [7]. Au eko
a ikulua en so wa e be a e abili a en, kasu ho e an pul su ul amo zeko
lase ba en egi u ake a-p ozesuko enomeno isikoen e edua lo zea zen
helbu u. Ho e a ako, bi enpe a u ako e edua so u zu en, ho s, em ose-
gundo ako pul suek modeloa ez desegonko zeko lase a en be oa bi e a-
304 Ekaia, 2022, 42, 301-316
Oihane Mu ua, Jon Iñaki A izubie a, Ma a Os olaza,
Ai zol Lamikiz, Eneko Uka
pa an sa zen zu en. Tenpe a u a bi e apa an bana zea ideia ona izan dai e-
keen a en, honen egiaz a ze espe imen alik ez dagoenez, ezin dai eke esan
lo u ako simulazioen emai zak zen zuzkoak di ela.
2. i udia. Ablazio-e edua en e a emai za espe imen alen konpa ake a [6].
P oiek u honen helbu ua lengoaia ma ema ikoko Ma lab so wa ea en
bi a ez lase - es u izazio p ozesua simula zen duen zenbakizko e edua ga-
a zea da, be ie e dagokion egiaz a ze espe imen ala duela ik. E eduan, la-
se a be o-i u i ba en moduan simula zen da e a plasma zuzenke a ik ez
da aplika zen. Gaine a, lase ak be ak be oa ansmi i zen duen enomenoa
ahalik e a e ealen i udika zeko, es u izazioan e abil zen di en pul su labu
bezala sa zen da be o-i u ia egi u a u nahi den gainazalean. Ho e az gain,
modelizazioan un sezkoa den balidazio espe imen ala au e a e aman da.
2. METoDoLoGIA
P oiek u hone an ja ai u ako me odologia en ha i a, modelizazioa e a
saiakun za espe imen alak oina izko a alak di a. Bi a al haue a ik, lehe-
nengo e edua ga a zen da, e a ondo en, saiakun zak egi en di a. Ho ela,
saiakun zen emai zez balia uz zenbakizko e edua egiaz a zen da.
Lase - es u izazio p ozesua en e eduak ja ai zen duen eskema segidan
e akus en den 3. i udian adie az en da. Be an, a gi ikus en da alde ba e-
ik sa e ako pa ame oak zehaz u beha di ela, e a hauek abiapun u izanik
e edu e mikoa lanean ja zen da. E edu e mikoan, elemen u ini uen p o-
blema ebaz eko sa ea zehaz en da. Sa ea ekin e a sa e ako pa ame oekin
h ps://doi.o g/10.1387/ekaia.22926 305
Lase - es u izazio p ozesu ako e edu ma ema ikoa
ba e a p og ama nagusia exeku a zen da, ho s, e emu e miko e a kalkulu
geome ikoen ebazpena egin den p og ama en za ia.
Sa e a pa ame oak
Ma e iala
Lase a Ibilbidea
E emu e mikoa
PROGRAMA NAGUSIA
EMAITZA
Kalkulu geome ikoa
Geome ia
Sa ea
Sa ea en op imizazioa
Hasie ako
baldin zak
Ingu une
baldin zak
E edu e mikoa
3. i udia. E edua en ga apena en eskema.
E edua ekin hasi au e ik beha ezko pa ame oak zehaz u beha di a: ma-
e iala en da uak e a makina en pa ame oak, e a be en balioak saiakun za es-
pe imen ale an e abili di en be dinak zehaz en di a. P oiek u hone an e abili
den ma e iala kobal o (Co) oina ia duen S elli e 6a da, zehazki 1. aulako kon-
posizioa duena. Ma e ial ezaguna e a indus iako zenbai sek o e an (pe olio
e a gasa, au omozioa, ae onau ika e a biomedikoa) e abilia da di uen higadu a-
ekiko, enpe a u a al uekiko e a ko osioa ekiko e esis en zia al ua enga ik.
1. aula. S elli e 6a en konposizio kimikoa (%).
Co C W Ni Fe Mn C Mo Si P S
58,00 29,99 3,99 2,47 1,56 1,47 1,07 0,94 0,68 0,006 <0,002
S elli e 6a en egi u ake a egi eko TRUMPF ab ika zaileen T uMa k
S a ion 5000 makina e abili da, egoe a solidoko zun z mo ako lase a
duena. P ozesuko pa ame oen kon ole ako, lase ak T uTops Ma k so -
wa ea ba ne a u a dauka, non so u nahi den es u a en ibilbidea be an
zehaz u dai ekeen.
306 Ekaia, 2022, 42, 301-316
Oihane Mu ua, Jon Iñaki A izubie a, Ma a Os olaza,
Ai zol Lamikiz, Eneko Uka
3. EREDUAREn oInARRIAK
E edua en oina i eo ikoa, e emu e mikoa i dagokion e oapen i agan-
ko eko be o- ans e en zia en p oblema ebaz eko ja aian adie az en den
ekuazio di e en zialak eza zen du.
!
!Cp!"u
! ! " k! "u
( )
=
non
u: Tenpe a u a
ρ: Den si a ea
CP: Be o espezi ikoa
: Be o-i u ia
k: E oanko asun e mikoa
2. aula. S elli e 6a en enpe a u a en menpeko p opie a eak.
Tenpe a u a
(k)
Den si a ea
(kg · m–3)
Be o espezi ikoa
(J · kg–1 · k–1)
E oanko asun
e mikoa
(W · m–1 · k–1)
293 8.400 425 13,00
393 8.360 475 14,50
470 8.330 500 16,00
530 8.300 525 16,64
620 8.275 550 18,00
700 8.240 575 18,48
730 8.228 600 19,50
775 8.210 625 20,01
860 8.180 650 21,10
910 8.152 675 21,77
950 8.130 725 22,50
1.020 8.100 750 22,50
1.100 8.060 1.150 22,50
1.193 8.020 1.400 22,50
1.270 7.980 1.680 22,50
1.293 7.970 1.920 22,52
1.393 7.970 2.150 22,60
1.493 7.970 2.320 22,68
1.593 7.970 2.415 22,75
1.693 7.968 2.450 22,82
1.793 7.967 700 22,88
1.893 7.966 700 22,94
2.000 7.965 700 23,00
Be o- ans e en zia p oblema hau Ma lab-eko PDE (Pa ial Di e en ial
Equa ion) modulua en bi a ez eba zi da. Be az, p oblema e mikoa kalku-
h ps://doi.o g/10.1387/ekaia.22926 307
Lase - es u izazio p ozesu ako e edu ma ema ikoa
la zeko, PDE moduluak beha ezkoak di uen aldagai guz iak de ini u beha
di a. Ho i dela e a, ma e iala en da uak enpe a u a en menpe aula a u di a
2016an Wei Ya e a be e ike zaile aldeak a gi a a u ako a ikulu ik es-
ku a u ako balioekin (2. aula) [8]. S elli e 6a en ablazioa modeliza zeko
be e lu un ze- enpe a u a (T ) zehaz ea ga an zi sua da, baina balio zeha-
za ez da au ki u bibliog a ian. Ho i dela e a, ma e iala en aleazio nagusien
(Co-C ) lu un ze- enpe a u ak alde a uz, e eduan T = 2.671 oC zehaz u da
S elli e 6a en lu un ze- enpe a u a gisa. Bes alde, lase p ozesue an ma e-
iala en abso ibi a ea en balioa (α) zehaz u beha eko p opie a ea da, e a
kasu hone an α = 0,5eko balio kons an ea inka u da.
Ma e iala en da uak zehaz u os ean lase a en espezi ikazio guz iak in-
ka u beha di a. Lehenik e a behin, T uma k S a ion 5000a en lase -izpiak
45 µm-ko e adioa e a 10o-ko dibe gen zia angelua di u. Bes alde, a gi izan
beha da, lase - es u izazioa ahalik e a ga biena e a azka ena izan beha dela,
u u ako ma e ial i sa sia ez delako simula uko. Ho ela, egi u ake a azka a
egi ea en bi a ez u u ako ma e ial kan i a ea xikiagoa e a egindako hu bil-
pena hobea izango di a. Ho ega ik, lase a en po en zia maximoan lan egi-
ea e abaki da, ho s, 50 W-ko po en zia nominala ekin. Pul suko po en zia en
balio maximoa lo zeko, lase a i eza i ako maiz asuna = 50 kHz-koa e a
pul suen i aupena = 250 ns-koa di a. Lase ak piezan e agi en duen be o-
i u ia, pieza en abso ibi a ea en, lase a en be a en po en zia en e a e asoko
dion azale a en menpekoa da, ja aian e akus en den adie azpena ekin lo zen
dena. E abiliko den adie azpen hau lase a en pul suen i aupena en menpe da-
goenez, denbo a- a ea en a abe a balio ba edo bes e izango du be o-i u iak.
=
!
!P
A
∈[(n – 1) · T, d + (n – 1) · T]
non
α: Abso ibi a ea
P: Pul suko po en zia
A: Spo -a en azale a
n: Pul su zenbakia
d : Pul sua en i aupena
T: Pul suen pe iodoa
= 0 ∈[d + (n – 1) · T, n · T]
Be o-i u ia kalkula u ahal iza eko lase a en spo ak pieza en gainaza-
lean isla zen duen azale a jakin beha da. Azale a en kalkuluan ezin da la-
se a en spo a en e adioa e abili zuzenean, izan e e, izpia en dibe gen zia-
angelua e a ma e iala e auz ean alda zen den oku-dis an zia kon uan izan
beha di a. Ho ela, es u iza uko den gainazaleko izpia en azale a azpiko
adie azpena en bi a ez kalkula zen da.
A = π · (R + D · an(γ))2non
R: Spo -a en e adioa
D : Foku-dis an zia
γ: Dibe gen zia angelua
308 Ekaia, 2022, 42, 301-316
Oihane Mu ua, Jon Iñaki A izubie a, Ma a Os olaza,
Ai zol Lamikiz, Eneko Uka
E emu e mikoa en kalkulua egin ahal iza eko hasie ako baldin zak e a
ingu une-baldin zak zehaz u beha di a. Baldin za hauek saiakun za espe-
imen alak egi ean daudenak di a, ho ega ik hasie ako baldin za moduan
pieza osoa 25 oC- an eza zen da. Hala e e, pul su bakoi za en os ean ha-
sie ako baldin za hau egune a zen da hozke a-p ozesua en os ean lo zen
di en enpe a u en in e polazioa en bi a ez. Ingu une-baldin zei dagokie-
nez, pieza makinan koka zen den moduak, hau da, euska ia ekin kon ak-
uan dagoen azale ak, e a lase -izpiak eza zen di uz e. Ho ela, pieza en
azpiko au pegia 25 oC- an eza zen da. Lase -izpia en ingu une-baldin za
be o-i u ia da, p ozesuan zeha dagokion ibilbidean enpe a u a igoe a ba
e agingo du e a. Ingu une-baldin zak labu bil zen di uen eskema 4. i udian
e akus en da. Aipaga ia da, alboe ako au pegiei ez zaiela ingu une-baldin-
za ik eza zen. Izan e e, lase - es u izazio p ozesua hain da bizko a, non
konbekzio- e a e adiazio-gale ak mesp e xaga iak di a.
4. i udia. Ingu une-baldin zen eskema g a ikoa.
E emu e mikoa en ebazpena egin os ean, enpe a u a-aldake ak e agi-
en du en geome ia-aldake a di e en zia ini uen bidez kalkula zen da. Ho-
ega ik, pieza en sa e op imiza ua en (5. i udia), hau da, in e eseko gunee-
an sa e inagoa duena en, gainean e emu e mikoak e agindako aldake ak
az e uko di a. Sa ea lehen o denako elemen u e aed ikoz osa zen da, ele-
men u xikiena en amaina 8 µm izanik, e a 1,2ko hazkun za ak o ea in-
ka u da.
k a e eko ma e ial-e auzke a simula ze ako ga aian bi es a egia apli-
ka u di a: alde ba e ik, elemen u osoak ken zea, e a bes e ik, lu undu ako
nodoak behe an z desplaza zea.
h ps://doi.o g/10.1387/ekaia.22926 309
Lase - es u izazio p ozesu ako e edu ma ema ikoa
5. i udia. In e eseko gunee an indu ako sa ea.
3.1. Lu undu ako elemen uak ken zea
Elemen uak ken zeko es a egia hone an elemen uen nodoe ako en-
pe a u ak az e zen di a. Ho ela, elemen u bakoi za en nodoe ako ba ez
bes eko enpe a u ekin elemen ua en enpe a u a kalkula zen da, e a be e
balioak ma e iala en lu un ze- enpe a u a gaindi zen badu elemen u ho i
ezaba zen da, 6. i udian ikusi dai ekeen moduan.
T>T ap
T>T ap
T>T ap
6. i udia. Elemen uak lu un ze- enpe a u a gailen zean espe o ako i xu a alda-
ke a.
Ma lab-en exeku a zean lu un ze- enpe a u a ik go ako elemen uak
ezaba u di ela ikus en da (7. i udia) e a p og ama u iko kodea en un zio-
namendu egokia be ma zen du. Alabaina, saiakun za espe imen ale ako
baldin zak e eduan aplika zean ma e ial-ken ze mekanismo hau ez da ak-
iba zen. Izan e e, elemen uak xikiegiak izan beha ko li a eke emai za lo-
giko ba lo zeko, mik ome oa baino xikiagoak, e a ho ek o denagailua-
en kos u konpu azional handiegia eska zen du.
316 Ekaia, 2022, 42, 301-316
Oihane Mu ua, Jon Iñaki A izubie a, Ma a Os olaza,
Ai zol Lamikiz, Eneko Uka
[3] Ku m a , V., Ve m a , ., Ka n G o , S. e a Sh a m a , V. 2021. «Recen p og es-
ses and applica ions in lase -based su ace ex u ing sys ems». Ma e ials To-
day Communica ions. 26. 2352-4928.
[4] liu, h., Ch e n , y., wa n G , x., me n G , x., Fu, y. e a Ca i , L. 2008. «Nume-
ical Simula ion o Lase Su ace Mic o-Tex u ing». Ma e ials Science Fo-
um. 575-578. 678-683.
[5] xi a n , J., wa n G , x., Fu, x., zh a n G , z., liu, l. e a Ka n G , M. 2018. «A Sim-
ple Model o P edic Machined Dep h and Su ace P o ile o Picosecond
Lase Su ace Tex u ing». MDPI.
[6] Ch e V a l l i e , e., B u y è e , V., Se e , . e a na m y , P. 2018. «Lase ex u ing
modelling using CoMSoL Mul iphysics». Exce p om he P oceedings o
he 2018 COMSOL Con e ence in Lausanne.
[7] Ch e V a l l i e , e., B u y è e , V., Be n a D , G. e a na m y , P. 2020. «Fem o-se-
cond lase ex u ing p edic ion using CoMSoL Mul iphysics».
[8] ya, w., Pa h i a J , B. e a liu, S. 2016. «2D modelling o clad geome y and
esul ing he mal cycles du inglase cladding». Jou nal o Ma e ials P oces-
sing Technology. 230. 217-232.
