Citations refer to the original publication, not to a Scieee localized version.
Costa Castelló, R., Shkel, A. M., & Fargas Marquès, A. (2005). Modelling the electrostatic actuation of MEMS: state of the art 2005. Universitat Politècnica de Catalunya. Institut d'Organització i Control de Sistemes Industrials. https://upcommons.upc.edu/handle/2117/119
Costa Castelló, Ramon, et al. Modelling the electrostatic actuation of MEMS: state of the art 2005. Universitat Politècnica de Catalunya. Institut d'Organització i Control de Sistemes Industrials, 2005. https://upcommons.upc.edu/handle/2117/119.
Costa Castelló, Ramon, A.M. Shkel, and A. Fargas Marquès. Modelling the electrostatic actuation of MEMS: state of the art 2005. Universitat Politècnica de Catalunya. Institut d'Organització i Control de Sistemes Industrials, 2005. https://upcommons.upc.edu/handle/2117/119.
Costa Castelló, R., Shkel, A. M. and Fargas Marquès, A. (2005) Modelling the electrostatic actuation of MEMS: state of the art 2005. Universitat Politècnica de Catalunya. Institut d'Organització i Control de Sistemes Industrials. Available at: https://upcommons.upc.edu/handle/2117/119.
R. Costa Castelló, A. M. Shkel, and A. Fargas Marquès, “Modelling the electrostatic actuation of MEMS: state of the art 2005,” Universitat Politècnica de Catalunya. Institut d'Organització i Control de Sistemes Industrials, 2005. [Online]. Available: https://upcommons.upc.edu/handle/2117/119
@misc{costacastello2005modelling,
author = {Costa Castelló, Ramon and Shkel, A.M. and Fargas Marquès, A.},
title = {Modelling the electrostatic actuation of MEMS: state of the art 2005},
year = {2005},
publisher = {Universitat Politècnica de Catalunya. Institut d'Organització i Control de Sistemes Industrials},
url = {https://upcommons.upc.edu/handle/2117/119}
}
The source metadata has no journal, volume or pages. Add them from the original publication if your citation needs them.