Kurz elektronové litografie – příprava nanostruktur
Abstract
This course teaches how to handle lithographic chemicals. It lists positive and negative resists for EBL and DWL, and recommends developers, solvents, and removers/strippers. You will learn how to develop a resist, and what glassware and fumehood you should use.
Full text
Přihlášení pro kontrolu kurzů projektu NPO Kurz Práce s chemikáliemi pro litografii/ Working with lithography chemicals (pro MŠMT a VUT v Brně) Pro kontrolu obsahu kurzů financovaných z projektu NPO je třeba se přihlásit do vzdělávací aplikace Moodle, kde byl zřízen manuální účet: https://cfmoodle.ceitec.vutbr.cz/login/index.php?saml=off username: npo heslo: NPOmsmt23. (pozor na tečku na konci) Licence CC BY-SA
Kurz Working with lithography chemicals je v aplikaci Moodle umístěn v sekci obecných školení, oblast Micro a Nanofabrikace: General training / Microand Nanofabrication Výběr kurzu Working with lithography chemicals:
Obsah a sekce kurzu Working with lithography chemicals: